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      Q:

      蝕刻方法以及蝕刻液的定量分析方法

      本發明涉及金屬蝕刻方法,更詳細說,涉及在半導體器件基板或 液晶元件基板等的基板制造工序等中,為了對金屬(層)形成微細電 極或金屬配線而使用感光性樹脂等的微細蝕刻工序中適用的蝕刻方 法。此外,本發明涉及上述蝕刻液的定量分析方法以及從上述蝕刻液 中回收磷酸的方法。 背景技術
      Q:

      硝酸的定量分析和磷酸的定量分析

      用水稀釋上述的混酸液6g,作成250g。調制成每lg有25mg 硝酸的硝酸鉀水溶液作為基準液,測定302nm附近的吸光度。用水作 為對照液。由基準液和吸光度的關系作成校準線,算出混酸液中的硝 酸濃度。硝酸的濃度為14.9重量%。硝酸當量為(14.9 (重量%) /100) /0.0631=2.365(meq.)。這里,0.0631是相當于1摩爾/升的氫氧化鈉lml 的硝酸量(g)。并且,這時的CV值(變動系數)為0.3%,分析值的 離散小。
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